Mikroobrábění v přesném strojírenství se stalo v poslední době doménou laserů. V projektu „Emicpro“ se vrací Fraunhoferův institut FEP a FOCUS Electronics GmbH k mikroobrábění dílů elektronovým paprskem, založenému na ohřevu materiálu dopadem urychlených elektronů, jejichž kinetická energie se při dopadu mění na teplo.
Společnou výhodou elektronového a laserového svazku oproti jiným technologiím je tak schopnost koncentrace energie do velmi malé plochy a tím dosažení vysoké hustoty výkonu. Proto pro řadu použití jsou elektronové a laserové technologie zaměnitelné a volba jednoho z těchto způsobů je dána spíše dostupností a cenou dané operace.
Elektronové obrábění se podle projektu nabízí zvláště při strukturování opticky průhledných vrstev a v projektu „Emicpro“ se zaměřuje na mikrosystémové a povrchové technologie s využitím zvláště v oblasti fotovoltaiky a lékařské techniky. Nevýhodou elektronových technologií je ale nutnost provádět operace ve vakuu.
