Vzhledem k tomu, že zákazníci
požadují po elektronických
přístrojích stále více výkonu
a funkcí, polovodičový průmysl
usiluje o začlenění více funkcí do
stávajících integrovaných obvodů,
nebo „čipů”.
Výroba nové generace čipů je
fotolitografický proces s využitím
argon-fluoridové (ArF) laserové
technologie. Nicméně, zavedení
ArF laserů bylo zpožděno nedostatkem
dostatečn ě „čistých” plastů
použitých v ochranných obalech
(fotomasky a šablony) pro výrobní
proces integrovaných obvodů. Pro
splnění tohoto úkolu a uspokojení
potřeb zákazníků vyvinula divize
LNP* Specialty Compounds
společnosti SABIC Innovative
Plastics řadu velmi čistých průhledných,
plastových směsí Ultra-
Pure Transparent (UPT) Stat-Loy*
63000CT. Směsi UPT Stat-Loy,
použité v prostředcích pro ochranu
plátků čipů, mohou zabránit škodám
vzniklým uvolňováním plynů,
které mohou kontaminovat plátky,
zvýšit zmetkovitost a náklady.
Výroba integrovaných obvodů
vyžaduje přísnou čistotu výrobního
prostředí. Čím jemnější je
výroba, tím se zvyšují účinky
kontaminace z úniku plynů z plastů.
Jestliže těkavé organické látky
(VOC) nebo vyluhovatelné ionty
dosáhnou povrchu silikonových
plátků, fotomasek nebo šablon,
mohou zařízení poškodit nebo
narušit jejich funkčnost. Použitím
ArF laserů s vyšším výkonem
jsou plátky a obaly ještě více
náchylné k poškození následkem
úniku plynů.
„Nedostatky dostupných materiálů
obalů dlouhá léta bránily
využití ArF laseru,“ řekl Yeo
Aun Hua, produktový manažer
LNP, SABIC Innovative Plastics.
„Díky tomu, že společnost SABIC
Innovative Plastics rozpoznala,
že přechod k této nové technologii
je pro výrobce integrovaných
obvodů nezbytný, vyvinula směsi
UPT Stat-Loy 63000CT, aby
pomohla odstranit hlavní překážku
v miniaturizaci polovodičových
komponent. Úsilí našeho výzkumu
a vývoje a závazek neustálých inovací
pomůže výrobcům integrovaných
obvodů využít ArF lasery,
které umožní výrobu extrémně
jemných obvodů až do rozměru 45
nm i méně.”
Společnost Gudeng Precision
Industrial Co. Ltd se stala jedním
z největších světových výrobců
jasněčistých přepravních/skladovacích
nosičů fotomasek a čisticího
zařízení šablon pro masky s fázovým
posunem (PSM) a vysoce
přesných (high-end) šablon. Podle
technického manažera dr. Poshina
Leea je: „Stat-Loy 63000CT
vynikajícím materiálem pro stávající
a budoucí nástroje pro přenos
plátku/fotomasky ve výrobních
závodech. Může splnit zásadní
požadavky na čistotu a poskytnout
nejnižší riziko kontaminace při
přepravě v rámci výroby.”
Pod značkou TAC Carrier, vyvinula
společnost Sakase Chemical
Co., Ltd. nové obaly pro přepravu
komponent, které nespadají
pod normu JEDEC, včetně přesných
mikrosoučástí a tenkovrstvých
čipů integrovaných obvodů,
jejichž transport je obvykle
nesnadný vzhledem k jejich
konstrukci a tvaru. Podle Ikuo
Konishiho, generálního manažera
divize vývoje, “Díky kombinaci
směsi Stat-Loy 63000CT – která
poskytuje antistatické vlastnosti
a extrémně vysokou čistotu
– a adhezivní látky od společnosti
Kaneka, můžeme vyvinout novou
řadu výrobků s extrémně nízkým
rizikem kontaminace pro nesnadno
manipulovatelné komponenty
nespadající pod normu JEDEC,
jako jsou například MEMS, čočky,
čipy, čipové plátky (wafery)
a přesné součásti. Instalovali jsme
čistý provoz pro realizaci materiálu
UPT a Kaneka a začneme vyrábět
tyto nově vyvinuté přepravní
obaly pro přední výrobce technických
zařízení v Japonsku.”
Aby společnost SABIC Innovative
Plastics poskytla zákazníkům
správná řešení, rozšířila stávající
produktovou řadu LNP Stat-Loy
o směsi Stat-Loy řady 63000CT,
což jsou jasně čisté průhledné
permanentně antistatické materiály
s velmi nízkým uvolňováním
organických těkavých látek a nízkou
úrovní vyluhovatelných iontů.
V porovnání s nimi vykazuje
transparentní antistatický polymetylmetakrylát
(PMMA) vysoké
uvolňování těkavých látek, což
vede k vytváření zamlžení. Matné
směsi na bázi sazí znemožňují
ověřit čísla kódů šablon nebo
masek oproti číslům krabiček bez
otevírání zásobníků. Směsi UPT
Stat-Loy 63000CT naproti tomu
poskytují vynikající průhlednost,
čistotu a elektrickou vodivost.
Kromě toho, konstrukce na bázi
polykarbonátové směsi poskytuje
více než 20krát lepší odolnost
vůči nárazu než ostatní materiály
na trhu.
Tento nový materiál je také možné
barvit do prakticky jakéhokoliv
odstínu barev pro zalisování, včetně
řady speciálních pigmentových
efektů. Směsi řady UPT Stat-Loy
63000CT jsou vynikajícími kandidáty
pro ochranná zařízení fotomasek
a čipových plátků, čipových
boxů, MEMS kazet, držáků šablon
a procesních nosičů.
Směsi UPT Stat-loy 63000CT
jsou dodávány na celosvětový trh.
Pro další informace o směsích LNP
Stat-Loy společnosti SABIC Innovative
Plastics prosím navštivte
internetové stránky společnosti
www.sabic-ip.com . /mt/
